Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие

• Автор: Родионов Юрий Анатольевич
• Издательство: Инфра-Инженерия
• Год издания: 2019
• Обложка: твердый переплет
• Страниц: 352
• Томов: 1
• Вес: 555 г.
• ISBN: 978-5-9729-0337-5

Описание

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Товар прошел сертификацию качества и безопасности. К покупке прилагается гарантийное обязательство. Имеется накопительная система скидок, зависящая от объема совершавшихся ранее покупок. Быстрая доставка курьером или в пункт выдачи в срок от 1 дня. Точную информацию о сроках доставки и величине скидки вы узнаете в ходе оформления заказа. Приятных покупок.