Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

• Автор: Галперин В.А.
• Издательство: Бином. Лаборатория знаний
• Серия: Нанотехнологии
• Год издания: 2018
• Обложка: твердый переплет
• Страниц: 283
• Томов: 1
• Вес: 400 г.
• ISBN: 978-5-9963-0032-7

Описание

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Товар сертифицирован и соответствует нормам качества и безопасности. К покупке прилагается гарантийное обязательство. Имеется накопительная система скидок, зависящая от объема прежних заказов. Быстрая доставка курьером или в пункт выдачи в срок от 1 дня. Точную информацию о сроках доставки и величине скидки вы сможете прочесть на странице оформления заказа. Приятных покупок.