Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

• Автор: Берлин Е.В.
• Издательство: Техносфера
• Год издания: 2018
• Обложка: твердый переплет
• Страниц: 464
• Томов: 1
• Вес: 867 г.
• ISBN: 978-5-94836-519-0

Описание

За последнее десятилетие источники ICP нашли широкое промышленное применение, о котором появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого — систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP. В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников.
Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Товар прошел сертификацию качества и безопасности. К покупке прилагается гарантийное обязательство. Имеется накопительная система скидок, зависящая от объема предыдущих покупок. Быстрая доставка курьером или в пункт выдачи в срок от 1 дня. Точную информацию о сроках доставки и размере скидки вы сможете прочесть во время оформления заказа. Приятных покупок.